阵列式单芯片集成数字微加速度计

摘要

本发明涉及微加速度计，具体为一种阵列式单芯片集成数字微加速度计，解决了现有的加速度传感器体积大，现有的加速度计单元达不到满量程输出、固支梁的根部易断裂、高低量程的加速度计达不到优化配置的技术问题。一种阵列式单芯片集成数字微加速度计，包括单晶硅材料的结构层（2）；所述结构层（2）分为左右两部分，所述结构层（2）右面的上下两部分分别集成有不同量程的第一压阻式加速度计单元（21）和第二压阻式加速度计单元（22）；结构层（2）左面集成有对第一、二压阻式加速度计单元（21、22）的输出信号进行放大滤波处理的CMOS电路。本发明将加速度计阵列单元与信号处理电路集成到一块芯片上，实现了微型化和集成化。