公开/公告号CN101322218B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-03-26
原文格式PDF
申请/专利权人 电子线技术院株式会社;
申请/专利号CN200680045633.8
申请日2006-12-05
分类号H01J37/147(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人黄纶伟
地址 韩国忠清南道
入库时间 2022-08-23 09:18:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-03-26
授权
授权
2009-02-04
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-12-10
公开
公开
机译: 在电子柱中聚焦电子束的方法
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