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光谱纯度滤光片、包括这样的光谱纯度滤光片的光刻设备以及器件制造方法

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摘要

一种光谱纯度滤光片包括孔阑。光谱纯度滤光片被配置成通过配置成吸收第一波长的辐射和允许第二波长的辐射的至少一部分透射通过所述孔阑，来提高辐射束的光谱纯度。所述第一波长大于所述第二波长。光谱纯度滤光片可以用于改善极紫外(EUV)辐射束的光谱纯度。

1. 光谱纯度滤光片、包括这样的光谱纯度滤光片的光刻设备以及器件制造方法 [P] . 中国专利： CN102132213B . 2014.04.16
2. 光谱纯度滤光片、光刻设备、制造光谱纯度滤光片的方法和使用光刻设备制造器件的方法 [P] . 中国专利： CN102792228A . 2012-11-21
3. Multi-layer spectral purity filter, lithographic apparatus including such a spectral purity filter, device manufacturing method, and device manufacturing thereby [P] . 欧洲知识产权局专利： EP2053464B1 . 2010-07-21

机译：多层光谱纯度滤光片，包括这种光谱纯度滤光片的光刻设备，器件制造方法和由此制造的器件
4. Multi-layer spectral purity filter, lithographic apparatus including such a spectral purity filter, device manufacturing method, and device manufacturing thereby [P] . 欧洲知识产权局专利： EP2053464A1 . 2009-04-29

机译：多层光谱纯度滤光片，包括这种光谱纯度滤光片的光刻设备，器件制造方法和由此制造的器件
5. Multi-layer spectral purity filter, lithographic apparatus including such a spectral purity filter, device manufacturing method, and device manufactured thereby [P] . 美国专利： US7639418B2 . 2009-12-29

机译：多层光谱纯度滤光片，包括这种光谱纯度滤光片的光刻设备，器件制造方法和由此制造的器件