用于在衬底上形成电子电路的装置

摘要

本发明的实施例通常提供一种群集工具10，所述群集工具10可用于以自动方式在衬底上形成电子电路。在一个实施例中，群集工具10适合使用系统控制器101以自动方式处理衬底的部分，从而形成光电电池或生胚型电路器件的部分。在一个实施例中，群集工具10具有数个工作工段，所述数个工作工段包含：至少一个工段，用于在衬底上沉积一层；干燥炉，用于干燥所述衬底；测试工段，用于测试所述衬底；和储存工段，用于储存所述衬底；以及传输元件，可定位于所述工作工段中的每一个工作工段中。导架限定大体上闭合的环路，数个传输元件可沿所述大体上闭合的环路移动，在所述数个传输元件中的每一个传输元件上布置了所述衬底中的至少一个衬底。