公开/公告号CN102471880B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-03-19
原文格式PDF
申请/专利权人 瓦里安半导体设备公司;
申请/专利号CN201080029436.3
申请日2010-06-25
分类号
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司;
代理人臧建明
地址 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号
入库时间 2022-08-23 09:17:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/48 授权公告日:20140319 终止日期:20160625 申请日:20100625
专利权的终止
2014-03-19
授权
授权
2014-03-19
授权
授权
2012-07-04
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/48 申请日:20100625
实质审查的生效
2012-07-04
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/48 申请日:20100625
实质审查的生效
2012-05-23
公开
公开
2012-05-23
公开
公开
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