氧气的检测方法、空气泄漏的判别方法、气体成分检测装置以及真空处理装置

摘要

一种氧气的检测方法，准备栅极(102)、离子收集器(103)、以及在金属表面形成有氧化物的灯丝(101)，对流过所述灯丝(101)的灯丝电流进行控制，以使发射电流固定不变，通过由所述灯丝电流的通电而引起的发热，使热电子释放，从而使气体电离，产生离子，由所述离子收集器(103)捕捉所述离子，通过测量所述灯丝电流值，从而检测出存在于真空处理室内的氧气。