一种垂直梯度冷凝制造薄膜电池的装置

摘要

本发明涉及一种制造薄膜电池的装置，特别是一种温度梯度控制的薄膜电池的制造装置，包括分段温控系统、升降系统、水冷系统、气路控制系统和真空系统，所述分段温控系统、升降系统、水冷系统、气路控制系统和真空系统都与控制系统相连接。采用上述结构后，通过在下炉体原料反应平台上高温反应得到需要的反应物。通入气体将反应物带入到上炉体，中间通过分隔区冷却，反应物沉积在上炉体的基片上，形成薄膜电池。通过对上下炉体的分区温控，使得炉体内各个位置的温度达到制造薄膜电池的要求，这样的成型过程更加的简单快捷。