液相沉积二氧化硅增加黑硅结构强度的方法

摘要

本发明公开了一种液相沉积二氧化硅增加黑硅结构强度的方法，其特征在于：利用液相沉积(LPD)方法，在黑硅表面沉积二氧化硅，直至将黑硅表面的空隙中或者密集分布的洞穴中全部用二氧化硅填满。本发明使用简单的液相沉积(LPD)生产工艺在黑硅上沉积二氧化硅(SiO2)，增强了黑硅的结构强度，便于后续的太阳电池的制造。