具有浅N+层的薄有源层鱼骨形光敏二极管及其制造方法

摘要

本发明针对于检测器的结构、检测器阵列和检测入射辐射的方法。本发明包括光敏二极管阵列和光敏二极管阵列的制造方法，该光敏二极管提供减少的辐射损耗率、降低的串扰影响、减小的暗电流(电流泄漏)以及提高的应用上的适应性。