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公开/公告号CN102076882B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-12-25
原文格式PDF
申请/专利权人 ASM国际公司;
申请/专利号CN200980124332.8
发明设计人 V·鲍尔;T·哈坦帕;M·瑞塔拉;M·来斯科拉;
申请日2009-04-23
分类号
代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司;
代理人赵蓉民
地址 荷兰阿尔梅勒市
入库时间 2022-08-23 09:17:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-12-25
授权
2011-07-06
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/44 申请日:20090423
实质审查的生效
2011-05-25
公开
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