以氧化钛为主要成分的薄膜和以氧化钛为主要成分的烧结体溅射靶

摘要

一种以氧化钛为主要成分的薄膜，其特征在于，含有钛、氧和铜，Ti为29.0原子％以上、34.0原子％以下，Cu为0.003原子％以上、7.7原子％以下，余量包含氧和不可避免的杂质，并且氧成分与金属成分之比O/(2Ti+0.5Cu)为0.96以上。本发明的课题在于，得到具有高折射率且具有低消光系数的以氧化钛为主要成分的薄膜、适于制造该薄膜的以氧化钛为主要成分的烧结体溅射靶；得到透射率优良、反射率的下降少、作为光信息记录介质的干涉膜或保护膜有用的薄膜；以及得到可以应用于玻璃基板，即可以作为热射线反射膜、防反射膜、干涉滤光片使用的薄膜。