具有用于检测热辐射的夹层结构的装置、所述装置的制造和使用方法

摘要

本发明涉及一种用于检测热辐射的装置，其包括堆叠，所述堆叠具有：至少一个检测器支撑件，其具有至少一个用于将所述热辐射转换为电信号的检测器元件；至少一个电路支撑件，其具有至少一个用于读出所述电信号的读出电路；以及至少一个盖，其用以防护所述检测器元件，其中所述检测器支撑件和所述盖相对于彼此布置，以使得由所述检测器支撑件和所述盖界定的第一堆叠腔提供于所述检测器支撑件的所述检测器元件与所述盖之间，且所述电路支撑件和所述检测器支撑件相对于彼此布置，以使得至少一个由所述电路支撑件和所述检测器支撑件界定的第二堆叠腔提供于检测器支撑件与所述电路支撑件之间，且第一中空堆叠支撑件和/或所述第二堆叠腔被排空或可被排空。另外提供一种制造所述装置的方法。更好地，所述检测器支撑件、电路支撑件和盖由硅制成。所述制造操作以晶圆级进行。将经功能化的硅衬底堆叠在彼此上，稳固地接合在一起，且随后进行再分。更好地，所述检测器元件是热电检测器元件。所述装置适用于运动检测器、存在报告器和热图像照相机。