公开/公告号CN102334180B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-11-06
原文格式PDF
申请/专利权人 瓦里安半导体设备公司;
申请/专利号CN200980157578.5
申请日2009-10-26
分类号
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司;
代理人臧建明
地址 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号
入库时间 2022-08-23 09:16:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-11-06
授权
授权
2012-03-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/265 申请日:20091026
实质审查的生效
2012-01-25
公开
公开
机译: 独立控制离子束偏转,减速和聚焦的技术
机译: 独立控制离子束偏转,减速和聚焦的技术
机译: 独立控制离子束偏转,减速和聚焦的技术