便携式光纤干涉三坐标测量机及测量三坐标的方法

摘要

本发明公开了一种便携式光纤干涉三坐标测量机及测量三坐标的方法，该测量机包括光纤衍射球面波发生装置、光纤笔、球面波干涉光强度测量仪，其测量方法是采用多参考点多边测量原则，组成非线性超定方程组，应用最小二乘迭代方法，求解出两光纤球面波出射端中心A、B在o-xyz坐标系中的坐标，再利用共线条件求解出光纤笔笔尖（被测点）的三维坐标。本发明的构件组成简单，成本低廉，测量时易于操作且测量结果可靠，测量精度可达到1um，如果有效增大CCD光电探测器阵列的尺寸，测量精度可提高到0.1um。本发明适用于在任何场合进行三维坐标的测量。