激光干涉仪在大型三坐标测量机示值误差快速测量中的应用

摘要

提出一种使用激光干涉仪快速测量大型三坐标测量机示值误差的方法.描述了校准方法原理,建立了测量模型,探索了试验程序和试验方法,并给出对三坐标测量机示值误差校准的具体方法和步骤,使测量过程中激光干涉仪引入的误差尽可能减少,最后给出校准结果.分别采用激光干涉仪与传统标准量块得到的校准数据比对结果表明,激光干涉仪在大型三坐标测量机示值误差的校准中更加准确、可靠.