法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G06F17/50 授权公告日:20130821 终止日期:20190201 申请日:20090201
专利权的终止
2013-08-21
授权
授权
2013-08-21
授权
授权
2013-05-08
著录事项变更 IPC(主分类):G06F17/50 变更前: 变更后: 申请日:20090201
著录事项变更
2013-05-08
著录事项变更 IPC(主分类):G06F 17/50 变更前: 变更后: 申请日:20090201
著录事项变更
2011-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F17/50 申请日:20090201
实质审查的生效
2011-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 17/50 申请日:20090201
实质审查的生效
2009-09-02
公开
公开
2009-09-02
公开
公开
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机译: 使用带电粒子束光刻技术对图案进行压裂的方法和系统,该技术具有多次曝光通道,可多次曝光不同的表面积
机译: 通过多次曝光密度较小的局部图案来转移高结构密度图案的方法
机译: 通过多次曝光密度较小的局部图案来转移高结构密度图案的方法