法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-01
专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/004 登记生效日:20171114 变更前: 变更后: 申请日:20081217
专利申请权、专利权的转移
2017-12-01
专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/004 登记生效日:20171114 变更前: 变更后: 申请日:20081217
专利申请权、专利权的转移
2013-08-07
授权
授权
2013-08-07
授权
授权
2011-01-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20081217
实质审查的生效
2011-01-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20081217
实质审查的生效
2010-12-08
公开
公开
2010-12-08
公开
公开
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机译: 基于受主取代芳族阴离子的DUV,MUV和光学光刻中的离子,有机光酸发生剂
机译: 基于受主取代芳族阴离子的DUV,MUV和光学光刻中的离子,有机光酸发生剂
机译: DUV,MUV和用于光刻的离子性有机光氧化物生成剂,它们基于每个受体取代基的芳香族阴离子