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公开/公告号CN101772589B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-08-28
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN200880101675.8
发明设计人 詹尼弗·Y·孙;赛恩·撒奇;吉姆·德姆普斯特;徐理;肯尼思·S·柯林斯;段仁官;托马斯·格瑞斯;贺小明;元洁;
申请日2008-07-30
分类号C23C16/44(20060101);C23C28/00(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人胡元颖
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:15:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-08-28
授权
2010-09-22
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/44 申请日:20080730
实质审查的生效
2010-07-07
公开
机译: 带有含钇防护涂层的半导体处理设备的涂层,在处理腔室内减少了电弧和腐蚀
机译: 用保护性含钇涂层涂覆半导体处理设备的方法
机译: 用含保护性钇的涂层涂覆半导体加工设备的方法
机译:含钇或锆的金属间Ti-Al-Cr层和热障涂层涂覆的γ-钛铝化物的氧化和疲劳行为
机译:3.5重量%中用杂交溶胶 - 凝胶硅烷涂层涂覆温和钢腐蚀保护性能的评价。%NaCl溶液
机译:钽基保护性氧化钇涂层的液态铀腐蚀研究
机译:氧化钇评价为涂层,以降低在燃烧环境下工作的工业设备腐蚀速度。 案例研究:铁素体9CR-1MO钢
机译:通过电弧热喷涂产生的牺牲涂层来防止航空航天铝合金的应力腐蚀和局部腐蚀(法语)。
机译:900℃下添加钇的溅射纳米晶涂层的热腐蚀行为
机译:使用热电弧喷涂技术在aIsI-saE 4340钢上涂覆140 mxc-530as和140mxc-560as涂层的耐腐蚀性和耐磨性
机译:由固体薄膜润滑剂涂覆的电弧等离子喷涂层制成的轴承结构