用于质量流量控制器的控制器增益调度

摘要

一种具有反馈控制器增益的质量流量控制器，包括：构造成探测流经所述控制器的流体流量的传感器；设置成调节流经所述控制器的流体流量的阀；以及构造成按照所述传感器所测得的流体流量的函数来控制所述阀的处理器。所述传感器和阀设置在反馈系统内，且所述处理器基于至少一个校准气体参数与至少一个工作气体参数的比值而实时修正反馈控制器增益，以使得反馈系统的闭环传递函数无关于操作条件而保持基本上恒定，从而在不同于校准条件的工作条件下具有一致的控制性能。