一种宽量程现场真空规校准装置及方法

摘要

本发明涉及一种宽量程现场真空规校准装置及方法，属于测量技术领域。包括气源、减压阀门、微调阀、监测真空计、五个真空截止阀、三个电容薄膜规、稳压室、第一截止阀、机械泵、第二电磁阀、分子泵、全金属角阀、真空室、被校准真空规和真空监测真空规；真空室内有限流抽气小孔；第五真空截止阀内有进气小孔。本发明的方法对真空规的校准范围为10