用于电弧等离子体沉积设备的喷嘴式喷射器

摘要

设计和制造一种喷嘴式喷射器，用于采用界面稳定的电弧点燃器作为等离子体发生器的沉积薄膜层的等离子体沉积装置中。该喷嘴式喷射器控制反应剂的喷射、电离和反应，这些功能本身又决定了覆盖层沉积速率、覆盖层面积、覆盖层组合物以及覆盖层质量。