利用大气压辉光放电在光纤内沉积薄膜的方法及装置

摘要

本发明涉及利用大气压辉光放电在光纤内沉积薄膜的方法及装置，其采用在光纤的外壁上均匀缠绕高压低压相间的电极，使用氟碳气体，在大气压条件下，以光纤管内壁作为沉积基底，在光纤管内壁沉积氟碳薄膜，以提高光纤的传输效率和抗氧化。本发明利用介质阻挡放电等离子体沉积薄膜，具有其独特的优势：放电方式简单，设备成本低；气体体积小，气体流量低；能耗低。