含有芳香环的光致产酸剂

摘要

本发明提供一种由下式(1)表示的产酸剂：式(1),其中X表示具有1-10个碳原子的亚烷基、-X₁-O-X₂-、或选自氮、硫和氟的杂原子；X₁和X₂彼此独立地表示具有1-10个碳原子的亚烷基；Y表示具有5-30个碳原子并含有一个或多个芳香环的环烃基，该环烃基的环上的一个或多个氢原子可以被一个或多个选自以下组中的成员取代：-O-Y₁、-CO-Y₂、具有1-6个碳原子的烷基、具有1-6个碳原子的烷氧基、具有1-4个碳原子的全氟烷基、具有1-4个碳原子的全氟烷氧基、具有1-6个碳原子的羟基烷基、卤素原子、羟基和氰基；Y₁和Y₂彼此独立地表示具有1-6个碳原子的烷基；n表示0至5的整数；和A⁺表示有机反离子。依据本发明的产酸剂具有的优势在于其具有如下特征：酸扩散率、扩散距离、酸度和在使用ArF光源时的透光率可以通过引入含有芳香环的阴离子基团而被适当地控制。