公开/公告号CN101126907B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-06-12
原文格式PDF
申请/专利权人 卡尔蔡司SMT有限责任公司;
申请/专利号CN200710152722.9
申请日2007-08-14
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人邱军
地址 德国上科亨
入库时间 2022-08-23 09:14:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-06-12
授权
授权
2009-10-21
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-02-20
公开
公开
机译: 在微光刻投影曝光设备中校正像散的方法,这种投影曝光设备的投影物镜以及用于微图案化部件的制造方法
机译: 用于微光刻的投影物镜,具有该投影物镜的微光刻投影曝光设备,用于生产组件的微光刻工艺以及使用该方法生产的组件
机译: 用于微光刻的投影物镜,具有该投影物镜的微光刻投影曝光设备,用于组件的微光刻制造工艺以及使用该方法制造的组件