基板切割装置和利用该基板切割装置切割基板的方法

摘要

本发明公开一种基板切割装置和一种使用该基板切割装置切割基板的方法。该基板切割装置，包括：用于支撑基板的台；用于发射激光束的激光发生器；光束振荡器，用于在所述基板的切割线上振荡所述激光束，以加热所述基板；以及用于冷却加热基板的冷却单元。