法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-11-16
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/35 授权公告日:20130508 终止日期:20150930 申请日:20100930
专利权的终止
2013-05-08
授权
授权
2011-05-18
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20100930
实质审查的生效
2011-03-30
公开
公开
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