法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-18
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01N 21/67 变更前: 变更后: 申请日:20110329
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-07-06
专利权的转移 IPC(主分类):G01N 21/67 登记生效日:20160615 变更前: 变更后: 申请日:20110329
专利申请权、专利权的转移
2016-07-06
专利权的转移 IPC(主分类):G01N 21/67 登记生效日:20160615 变更前: 变更后: 申请日:20110329
专利申请权、专利权的转移
2013-05-29
授权
授权
2013-05-29
授权
授权
2012-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/67 申请日:20110329
实质审查的生效
2012-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/67 申请日:20110329
实质审查的生效
2011-11-23
公开
公开
2011-11-23
公开
公开
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机译: 使用氟卤代烃蚀刻气体和用于辉光放电的平面电极的溅射蚀刻方法
机译: 包括用于使辉光放电沿包络线轴平移运动的装置的光源
机译: 用于产生punktfoermigen光源的辉光放电灯