一种纳米线共振压电场效应晶体管的制作方法

摘要

本发明公开了一种纳米线共振压电场效应晶体管的制作方法，包括：步骤1：在衬底背面制作背栅电极；步骤2：在衬底正面生长氧化介质；步骤3：在生长的氧化介质上制作底层电极；步骤4：超声降解一维压电纳米线材料，并转移至衬底表面；步骤5：将一维压电纳米材料精确组装在底层电极上；步骤6：在底层电极之上制作覆盖一维压电纳米材料的顶层电极；步骤7：在源漏电极间施加直流电压并监测电流；步骤8：将背栅电极外接至RF激励信号源。利用本发明，调节RF激励信号频率接近一维压电纳米线固有频率，使得一维压电纳米线发生共振，导致周期性振荡形变，将激励信号能量转换为一维压电纳米线的能量，达到制作纳米线共振压电场效应晶体管的目的。