一种辅助石英晶体微天平用于第一壁材料腐蚀研究的套筒

摘要

本发明公开了一种辅助石英晶体微天平用于第一壁材料腐蚀研究的套筒，包括有异内径金属圆筒，绝缘底座和高压电源，异内径金属圆筒嵌入绝缘底座后一起安装在探头表面，并利用高压电源在异内径金属圆筒上维持正偏压。套筒可以在石英晶体前方形成喇叭口结构使得石英晶体表面圆形镀膜区域在等离子体最外闭合磁面上的投影成为规则的近圆形，并减小中性粒子入射石英晶体圆形镀膜区域的通量，同时异内径金属圆筒上的正偏压可以有效阻止杂质离子的入射。本发明的有益效果包括使石英晶体圆形镀膜区域对其在等离子体最外闭合磁面上投影区域的平均固体角的计算简化并精确，延长石英晶体微天平的使用寿命，以及排除杂质沉积的干扰。