法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-03-03
公开
发明专利申请公布
机译: 用于检测e逝波的微探针芯片及其制造方法,具有该微探针芯片的探针及其制造方法,以及具有该微探针芯片的e逝波检测器,近场扫描光学显微镜和信息再生器
机译: 配备有微探针芯片和e逝波检测器的用于检测e逝波探针的微探针芯片,近场扫描光学显微镜以及配备有微探针芯片的信息再生器
机译: 用于检测e逝波的微探针芯片及其制造方法,具有该微探针芯片的探针及其制造方法,以及具有该微探针芯片的e逝波检测器,近场扫描光学显微镜和信息再生器