一种大尺寸单轴的MEMS振镜

摘要

本申请公开了一种大尺寸单轴的MEMS振镜，包括框架呈环形；振镜位于框架内部，振镜包括中心轴；一对扭转轴对称设置在振镜两侧，一对扭转轴与中心轴同轴设置，且扭转轴一端与框架固定，另一端与振镜的外环面固定；一对驱动单元，对称设置在振镜两侧，驱动单元与对应侧的扭转轴固定，且驱动单元用于驱动扭转轴扭转以带动振镜绕中心轴旋转。本申请能够根据工况自由设计驱动件的大小，调节驱动力，满足大尺寸MEMS振镜的驱动需求；能够在驱动力下发生较大角度的偏转，同时具有优良的抗冲击性能及合适的工作频率；可根据谐振频率进行设计，保证振镜工作在谐振频率下，有效提高扫描效果。