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二维电容差分式MEMS风速风向传感器

摘要

本发明公开了一种二维差分电容式MEMS风速风向传感器,所述传感器包括衬底、刚性支撑柱、柔性感风柱、刚性连接体、可动电极板、固定电极板、金属引出电极;可动电极板与两个对称的固定电极板构成一组电容差分对,四组差分电容围绕柔性感风柱在衬底上成中心对称分布;风吹动柔性感风柱带动可动电极板产生位移,可动电极板与固定电极板的间距相应改变,从而导致四组电容对差值发生变化,测量四组电容对的差值可以获取风速和风向信息。本发明提出的二维差分电容式风速风向传感器结构,可提高传感器的可靠性和灵敏性,并降低功耗。

著录项

  • 公开/公告号CN115575661A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2023-01-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东南大学;

    申请/专利号CN202211251664.6

  • 发明设计人 易真翔;朱文静;

    申请日2022-10-13

  • 分类号G01P5/08;G01P13/00;G01P13/02;

  • 代理机构南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙);

  • 代理人秦秋星

  • 地址 211189 江苏省南京市江宁区东南大学路2号

  • 入库时间 2023-06-19 18:13:00

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-01-06

    公开

    发明专利申请公布

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