反射式贝塞尔激光微纳加工装置及方法

摘要

本发明提供一种反射式贝塞尔激光微纳加工装置及方法，涉及激光微纳加工技术领域。反射式贝塞尔激光微纳加工装置包括光源组件、反射式贝塞尔组件、光束聚焦组件和控制组件，光源组件适于发射激光光束，反射式贝塞尔组件适于将激光光束整形为贝塞尔光束，并改变贝塞尔光束的传播方向以形成反射式贝塞尔光束，光束聚焦组件适于汇聚反射式贝塞尔光束，控制组件适于控制反射式贝塞尔光束的聚焦点与工件之间的相对位置。应用本发明提供的反射式贝塞尔激光微纳加工装置及方法，可以实现对工件的高精度加工，提高成品率。