用于皮秒激光切割的贝塞尔镜头研究

摘要

设计并研制了一套用于激光切割的贝塞尔镜头及光束检测系统.此外,采用设计的贝塞尔镜头与中心波长为1064 nm的皮秒脉冲激光器产生皮秒贝塞尔光束,对厚度为1 mm的硅酸盐玻璃进行了切割实验.结果表明,一定直径的高斯光束入射到此贝塞尔镜头上,产生的贝塞尔光束中心主瓣直径和无衍射传输距离分别达到3.4μm和2.46 mm;切割实验中,玻璃分离前的表面微孔直径不超过设计的贝塞尔光束中心主瓣直径.本文设计的贝塞尔镜头及光束检测系统能够满足激光切割应用要求.