飞秒激光倒锥微孔加工的反射式扫描装置设计

摘要

基于道威棱镜扫描原理，设计了由高速旋转电机驱动三片K字形排布反射镜组成的反射式扫描装置，并分析了扫描钻孔准确度．结果表明：该扫描装置可用于飞秒激光高准确度环切钻孔系统，钻孔准确度不受光束质量影响，钻孔扫描速度二倍于电机转速且钻孔效率高、兼容多光谱波段；与道威棱镜系统相比，该系统装调准确度要求低，能避免透射系统中色散引起的飞秒激光脉宽展宽现象．测试结果显示该装置可以实现直径0．05～O．2mm、加工准确度小于±2μm倒锥孔的高效率加工．