一种基于贝塞尔光束的复合脉冲激光深孔加工装置

摘要

本发明公开了一种基于贝塞尔光束的复合脉冲激光深孔加工装置，包括短/超短脉冲激光光源、双面镀膜平面镜、小孔光阑、倍频晶体、准直镜、1/4波片、高斯‑贝塞尔转换装置、扫描振镜；利用复合脉冲激光进行微孔分步加工：先利用短脉冲激光加工效率高的优势进行微孔的初步加工，然后根据超短脉冲激光加工精度高、热影响区小的优势对上述初加工微孔进行重铸层及热影响区的去除。利用贝塞尔光束光斑直径小、焦深长的性质进行高深径比的微孔的加工；利用双面镀膜平面镜及小孔光阑进行同轴组束，并通过倍频装置统一复合激光的波长，保证了复合脉冲激光在同一光学系统中传输稳定性，提高复合脉冲激光的加工精度。