氮化铝衬底的制造方法、氮化铝衬底和抑制在氮化铝层中产生裂纹的方法

摘要

本发明要解决的问题在于提供一种能够抑制在AlN层中产生裂纹的新颖技术。本发明是一种AlN衬底的制造方法，包括：降低SiC基底衬底(10)的强度的脆加工步骤(S10)；和在SiC基底衬底(10)上形成AlN层(20)的晶体生长步骤(S20)。此外，本发明是一种抑制在AlN层(20)中产生裂纹的方法，包括：在SiC基底衬底(10)上形成AlN层(20)之前降低SiC基底衬底(10)的强度的脆加工步骤(S10)。