十字运动面及动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪

摘要

十字运动面及动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪属于精密测量设备；本机由主机座、立向支撑柱及轴座构成机架，在主机座上可纵、横向移动配装带有三角激光反射镜、反射镜安装架、纵向激光反射镜的十字形运动面，由横向气浮轴套、纵向气浮轴套、横向连接件、纵向连接件组成的横、纵向移动驱动机构安装在运动座上，可驱动十字形运动面于横纵方向高精度移动，通过立向移动机构可立向移动第一激光干涉仪、第二激光干涉仪、第三激光干涉仪及探针；通过采用上述方案，能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。