一种超精密飞切加工机床面形误差补偿及控制方法

摘要

一种超精密飞切加工机床面形误差补偿及控制方法，解决了现有超精密飞切加工机床存在的面形误差大，特别是中频误差较为突出等问题。根据飞切机床主轴角度编码器实时测得的角度信号以及刀具‑工件相对振动对飞切加工表面波纹度误差的形成规律，将实时所测振动信号反相输入，通过调控压电驱动纳米进给补偿平台的位置和姿态，实现对超精密飞切机床加工面形波纹度误差抑制。