一种碳化硅晶圆RTA快速合金工艺

摘要

本发明涉及碳化硅晶圆技术领域，具体的是一种碳化硅晶圆RTA快速合金工艺，本发明包括以下步骤：S1、在碳化硅晶圆的背面键合玻璃载板，再在碳化硅晶圆的正面制作晶体管和ILD层，然后在碳化硅晶圆的正面键合玻璃载板，再翻转晶圆和玻璃载板，再对碳化硅晶圆背面的玻璃载板进行解键合，并去除粘着剂；通过在碳化硅晶圆进行RTA快速合金工艺前，在完成镍金属层和钛金属层的溅镀后，直接在钛金属层表面沉积银金属层，使得银金属层可以随着碳化硅晶圆一同进行RTA快速合金工艺，无需在完成RTA快速合金工后艺多次翻转碳化硅晶圆配合玻璃载盘进行银金属层沉积，简化RTA快速合金的步骤，有效的降低加工成本，提升加工速度。