＜炭化ケイ素ウエハー＞昭和電工、パワー半導体用SiCエビウェハー高品質グレード品の3次増設へ,市場の急成長に伴い安定供給体制を整備

摘要

炭化ケイ素（SiC）ェピウェハーにおけるトップレベルのシェア有している昭和電工は、パワー半導体の材料であるSiCエビタキシヤルタェハーの高品質グレードエビウェハー「ハイグレードエビ（HGE）」の追加増強を決めた。同社の月産能力は9月に現在の5，000枚から7，000枚に拡大するとともに、追加増強により、1，200V耐圧デバイス仕様での換算で、2019年2月には9，000枚まで到達する予定。