一种碳化硅晶圆RTA快速合金工艺

摘要

本发明涉及碳化硅晶圆加工技术领域，具体的是一种碳化硅晶圆RTA快速合金工艺，本发明包括以下步骤：S1、在碳化硅晶圆的背面键合玻璃载板，再在碳化硅晶圆的正面制作晶体管和ILD层，然后在碳化硅晶圆的正面键合玻璃载板，再翻转晶圆和玻璃载板，再对碳化硅晶圆背面的玻璃载板进行解键合，并去除粘着剂；通过本发明的工艺可以在碳化硅晶圆上先制作钛金属层和镍金属层，由玻璃载盘进行承载，能够辅助碳化硅晶圆的加工和转移，使得进行RTA工艺时，能够对晶圆整体置于高温环境下整体进行加热，使得RTA合金工艺效果更好，欧姆接触效果更佳，最后再沉积铝金属层，完成碳化硅晶圆的RTA快速合金，避免因为RTA工艺的高温造成造成铝金属层融化。