形成垂直腔面发射激光器的光学孔径的方法和垂直腔面发射激光器

摘要

本发明涉及一种形成垂直腔面发射激光器(120)的光学孔径(24)的方法，包括：提供半导体层的层堆叠体，这些半导体层包括中间层，其中中间层包括适合于被氧化的半导体材料；将中间层氧化至氧化宽度，以便在所述中间层中形成被氧化的外部区域和未被氧化的中心区域；去除被氧化的外部区域的至少一部分，使得在已经去除被氧化的外部区域或者被氧化的外部区域的一部分的位置处形成空隙；以及将非导电材料沉积在空隙中。非导电材料使用原子层沉积(ALD)进行沉积，其中，非导电材料(90)以比空隙的厚度小的厚度沉积在空隙的壁上。在沉积非导电材料之后，用另外的材料填充空隙的剩余空间。还描述了一种具有光学孔径(24)的垂直腔面发射激光器(120)。