喷印添加与激光去除相结合制造漏印网版掩膜图案的方法

摘要

本发明提供了一种喷印添加与激光去除相结合制造漏印网版掩膜图案的方法，根据掩蔽图案的设计尺寸以及喷印加工、激光加工的误差得出喷印加工和激光加工的参数，先用喷印添加的方法，向空白网版的图案区域涂覆掩蔽材料，并将掩蔽材料固化，再用激光去除的方法，光蚀去除掉网版上因喷印加工误差而多余的掩蔽材料，去除的同时，用激光修整图案侧壁，得到需要的掩蔽图案。本发明只选择性地在图案区域喷印掩蔽材料，适合掩蔽图案占整网表面积比例较小的网版；用激光光蚀去除多余材料，精密度高而且速度快，侧壁质量好，适合高精密度网版生产；可以选择非光敏材料做掩蔽膜，掩蔽性能好，成本低。