晶圆表面颗粒度标准样片的制备方法及标准样片

摘要

本发明提供一种晶圆表面颗粒度标准样片的制备方法及标准样片。该方法包括基于已确定尺寸的晶圆片，制作颗粒度标准样板结构图；所述颗粒度标准样板结构图中包括多个不同尺寸的圆柱阵列；按照所述颗粒度标准样板结构图制作目标掩模板，并利用光刻工艺，将所述目标掩模板上的图形转移到所述晶圆片上，得到目标晶圆片；采用刻蚀工艺对所述目标晶圆片进行刻蚀，得到晶圆表面颗粒度标准样片。本发明能够提高晶圆表面颗粒度标准样片的使用寿命。