纳米级线宽标准样片的设计与制备

摘要

介绍了纳米级线宽标准样片的用途及其在校准扫描电子显微镜中存在的问题,设计了具有快速循迹结构的线宽标准样片,采用电子束光刻工艺制作了标称宽度为25nm～200nm的线宽样片.以50nm和200nm线宽为例对样片的线宽偏差、线边缘粗糙度、线宽均匀性和稳定性进行了考核.结果表明,标称值50nm～200nm的样片线宽值与设计值基本一致,线边缘粗糙度为1.9nm～2.0nm、均匀性为1.7nm～1.9nm,稳定性为0.06nm～0.6nm.