冗余泵送系统和利用此泵送系统的泵送方法

摘要

本发明涉及一种冗余真空泵送系统(300)和利用此系统的泵送方法，包括初级罗茨泵(302)、第一泵送子系统(310)和第二泵送子系统(320)，其中该第一泵送子系统(310)和第二泵送子系统(320)被布置为并联泵送由初级罗茨泵(302)排空的气体。该第一泵送子系统(310)包括第一次级罗茨泵(311)和第一正排量泵(312)以及定位于该初级罗茨泵(302)的气体排放出口(302b)和该第一次级罗茨泵(311)的气体抽吸入口(311a)之间的第一阀门(313)，并且该第二泵送子系统(320)包括第二次级罗茨泵(311)和第二正排量泵(312)以及定位于该初级罗茨泵(302)的气体排放出口(302b)和该第二次级罗茨泵(321)的气体抽吸入口(321a)之间的第二阀门(323)。根据本发明，该第一泵送子系统(310)和第二泵送子系统(320)被配置为以相同的流速泵送，而该初级罗茨泵(302)被配置为能够以等于初级泵送子系统(310)的泵送流速加上次级泵送子系统(320)的泵送流速的流速F泵送。