用于产生真空的泵送系统及利用此泵送系统的泵送方法

摘要

产生真空的泵送系统(SP)，包含主要真空泵，该主要真空泵是具有气体抽吸入口(2)及气体排放出口(4)的干式螺杆型泵(3)，该气体抽吸入口被连接至真空室(1)，该气体排放出口在泵送系统的外部的气体排气出口(8)的方向上通向气体排空管道(5)中。该泵送系统包含止回阀(6)及辅助真空泵(7)，该止回阀被定位在该气体排放出口(4)与该气体排气出口(8)之间，该辅助真空泵被并联连接至该止回阀。该主要真空泵(3)被启动，以便泵送真空室(1)中所含有的气体，及将这些气体排放通过它的气体排放出口(4)，同时辅助真空泵(7)被启动。此外，辅助真空泵(7)在主要真空泵(3)泵送真空室(1)中所含有的气体的整个时间期间持续泵送，和/或在主要真空泵(3)维持真空室(1)中的一个限定的压力的整个时间期间持续泵送。