添加纳米金属的单晶金刚石高精度抛光剂及其制备方法

摘要

一种添加纳米金属的单晶金刚石高精度抛光剂，本发明涉及单晶金刚石抛光剂的制备技术领域。本发明要解决现有方法针对单晶金刚石各向异性，并满足不同原子面抛光需求。抛光剂由包覆石墨烯的纳米金属颗粒、溶剂、分散剂、pH调节剂和表面活性剂合成。在抛光过程中，本发明制备的抛光剂可以催化单晶金刚石石墨化、促进化学效应、削弱机械作用带来的金刚石表面解理剥落、减少大颗粒金刚石磨屑的形成，防止对抛光面造成二次损伤。制备抛光剂颗粒分散性好，能提升单晶金刚石的抛光效率和抛光精度，通过调节抛光剂中纳米金属的种类、成分和含量，满足单晶金刚石不同原子面抛光工艺差异化要求。本发明抛光剂用于单晶金刚石的抛光。