一种紧凑型容性肖特基探针装置及其使用方法

摘要

本发明涉及一种紧凑型容性肖特基探针装置及其使用方法，其特征在于，包括真空管道、感应极板、超高真空馈通、前端电子学、后端信号处理单元和实时信号分析仪；真空管道的两端均设置有真空管道法兰，位于两真空管道法兰之间的真空管道内围设有四个感应极板，四个感应极板构成容性肖特基探针；对应于四个感应极板的位置，真空管道上间隔设置有四个超高真空馈通；前端电子学用于对超高真空馈通引出的束流感应信号进行放大，后端信号处理单元用于对前端电子学处理后的束流感应信号进行差、和运算，得到水平、垂直和纵向方向的肖特基信号并进行选择，实时信号分析仪用于测量待测粒子的水平或垂直或纵向肖特基信号，本发明可广泛应用于束流诊断领域中。